X射线光电子能谱(XPS)

项目简介

　　XPS，全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy(X射线光电子能谱)，早期也被称为ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，是一种使用电子谱仪测量X-射线光子辐照时样品表面所发射出的光电子和俄歇电子能量分布的方法。

　　XPS可用于定性分析以及半定量分析, 一般从XPS图谱的峰位和峰形获得样品表面元素成分、化学态和分子结构等信息，从峰强可获得样品表面元素含量或浓度。

　　1. X射线光电子能谱(XPS)可测试全谱、精细谱、俄歇谱、价带谱，也可刻蚀后采谱得到深层的信息;

　　2. X射线光电子能谱(XPS)按元素个数收费(需要包含必测元素C，不能测试H、He元素);一个元素默认测一个轨道，若测试多个轨道计为多个元素;一个样品默认一个测试位置，若测试多个位置计为多个位置;

　　3. XPS定量为半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号;

　　4. 测试默认单色化Al靶(Al Kα source)，能量1486.68eV;

常见项目

　　X射线光电子能谱(XPS)

　　微区XPS测试：除了材料的体相成分信息外，许多研究会关注材料表面深度约1 μm以内的微区结构和成分信息。

　　XPS深度剖析：可测试元素沿样品深度上的含量变化。

结果展示

常见问题

　　1. XPS测试，谱图如何校正、定标?

　　一般是以C-C峰284.6ev进行校正的，总谱、分谱是不同的测试方法，所有不是一起校正的，只校正分谱数据，总谱不用校正;价带谱VB是以刚出峰的位置为0进行校正的。

　　2. XPS半定量处理时，元素测试了不同轨道的谱图，定量以哪个为准?　　

　　定量是以元素的特征轨道谱图为准，如果存在多个轨道，切忌重复计算;若不同元素间轨道有重合，一般需要扫一下元素的非特征轨道来计算含量

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