椭圆偏振(椭偏仪)

项目简介

　　椭圆偏振主要用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构，通过精确测量薄膜样品的椭偏参数,经过后期数学处理、模拟和拟合，从而推导出多层结构、均匀和非均匀结构的厚度、光学常数(折射率，消光系数)、组分以及其他相关参数。

常见项目

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结果展示

　　可得到膜厚及n，k曲线

常见问题

　　1. 椭偏仪可以测量哪些参数?

　　 利用椭偏仪测量薄膜参数，测量得到是的反射光的偏振状态(振幅和相位)通过软件建立一定的模型，膜厚，折射率，消光系数等参数时一并可以得到;

　　 2. 椭偏仪适用于哪些材料的测试?

　　 椭偏仪适用于无机材料，样品有一定透光性。

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